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      白光干涉薄膜厚度測試儀

      簡要描述:白光干涉薄膜厚度測試儀,TF200根據反射回來的干涉光,用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。

      • 產品型號:
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2023-06-29
      • 訪  問  量:834

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      詳細介紹

      品牌貝拓科學價格區間面議
      產地類別國產應用領域醫療衛生,生物產業

      儀器介紹   

          TF200薄膜厚度測量系統利用薄膜干涉光學原理,對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。TF200根據反射回來的干涉光,用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。


      產品特點

      快速、準確、無損、靈活、易用、性價比高

      白光干涉薄膜厚度測試儀

      應用領域

      半導體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)

      LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)

      LED (SiO2、光刻膠ITO等)

      觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)

      汽車(防霧層、Hard Coating DLC等)

      醫學(聚對二甲苯涂層球囊/導尿管壁厚藥膜等)


      技術參數

      型號

      TF200-VIS

      TF200-EXR

      TF200-DUV

      TF200-XNIR

      波長范圍

      380-1050nm

      380-1700nm

      190-1100nm

      900-1700nm

      厚度范圍

      50nm-40um

      50nm-300um

      1nm-30um

      10um-3mm

      準確度1

      2nm

      2nm

      1nm

      10nm

      精度

      0.2nm

      0.2nm

      0.2nm

      3nm

      入射角

      90℃

      90℃

      90℃

      90℃

      樣品材料

      透明或半透明

      透明或半透明

      透明或半透明

      透明或半透明

      測量模式

      反射/透射

      反射/透射

      反射/透射

      反射/透射

      光斑尺寸2

      2mm

      2mm

      2mm

      2mm

      是否能在線

      掃描選擇

      XY可選

      XY可選

      XY可選

      XY可選

      注:1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。

             2.可選微光斑附件。


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